Kompyuter mikroelektronikasi va axborot texnologiyalari rivojlanishi bilan elektron ishlab chiqarish sanoatining jadal rivojlanishi ta'minlandi, shuningdek toza xona texnologiyasining rivojlanishiga turtki bo'ldi. Shu bilan birga, toza xonani loyihalashga nisbatan yuqori talablar qo'yiladi, elektron nuqtai nazardan ishlab chiqarish sanoatining samaradorligini oshirish uchun nuqsonli stavkalarni kamaytirish va ishlab chiqarish samaradorligini oshirish uchun changsiz dastgoh dizayni juda keng qamrovli.
Elektron ishlab chiqarishda toza xonaning xususiyatlari:
Yuqori darajadagi tozalik talab etiladi, havo hajmi, harorat va namlik, differentsial bosim, uskunaning egzoz nazorati, shuningdek, xonaning statik elektr energiyasiga bo'lgan bunday talablari juda qattiq ， va namlik talablari ayniqsa yuqori. »Chunki juda quruq zavod xonada statik elektr energiyasini ishlab chiqarish oson, natijada CMOS integratsiyasi buziladi. To'g'ri aytganda, elektron avtoulovning ish haroratini 22-avtoulovda boshqarish kerak, havoning nisbiy namligi odamlarni qulay his qiladi. Chip ustaxonasi, IC toza xonasi, Disk ishlab chiqarish ustaxonasi toza xonaning muhim qismidir. Ishlab chiqarish jarayonida elektron mahsulotlar, ichki havo muhiti va sifatiga bo'lgan talab juda qat'iydir. Asosiy maqsad zarrachalar va changni nazorat qilishdir. Ba'zi vaqtlarda atrof-muhitning harorati va namligi, toza havo hajmi va shovqin qat'iy tartibda qabul qilindi.
1, elektronika zavodidagi shovqin darajasi, 10 ming darajadagi toza xonada (bo'sh holat): 65B (A) dan oshmasligi kerak
2, Vertikal oqim toza xonani taqsimlash nisbati 60% dan kam bo'lmasligi kerak, gorizontal yo'naltirilgan oqim oqimi xonasi 40% dan kam bo'lmasligi kerak, aks holda u mahalliy bir tomonlama oqimga aylanadi.
3, elektron ishlab chiqaruvchilarning toza xonasi va tashqi qismi o'rtasidagi statik bosim farqi 10Pa dan kam bo'lmasligi kerak. Toza va toza bo'lmagan joylar orasidagi statik bosim farqi 5Pa dan kam bo'lmasligi kerak
4 10 ming darajadagi toza xonada toza havo miqdori quyidagi ikkita elementning maksimal qiymatiga teng bo'lishi kerak:
1> kompensatsiya kamerasi havosi chiqariladi va musbat yopiq bosimni ushlab turadi, zarur bo'lgan toza havo miqdorini oladi;
2> Toza xonada bir kishiga toza havo etkazib berish soatiga 40 tadan kam bo'lmasligini ta'minlash
Elektron ishlab chiqarish sanoatida HVAC tizimli isitgichni toza havo bilan ta'minlash kerak, haroratni haddan tashqari oshirib yuborishdan himoya qiling. Agar nemlendirish nuqtasidan foydalanganda suv himoyasi o'rnatilmasa, sovuq joylarda toza havo tizimi muzlatishga qarshi himoya choralari bilan ta'minlanishi kerak. Toza xonani havo bilan ta'minlash hajmi elektron ishlab chiqaruvchida quyidagi uchlikni olishi kerak. Issiqlik va namlik yukiga ko'ra toza xonaning havosi va toza havo ta'minoti miqdorini aniqlang.
