Yuqori - - Haroratli HEPA harorati filtrlari Yarimo'tkazgich va elektronika sohasidagi diffuziya pechlari ishlab chiqarish muhiti uchun eng yuqori darajadagi tozalikning eng yuqori darajasini oshiradi. Ushbu ilova chipning hosildorligi va ishlashini ta'minlash uchun fundamental hisoblanadi. Bu erda batafsil texnik dastur tavsifi:
I. Arizalar sahnasi va yadro funktsiyalari
1. Ilova uskunalari:
- Oksidli pech: yuqori {}} yuqori - yuqori {}} yuqori - sifatli kremniy dioksidi (SiO₂) plyonkani eshigi, dala oksidi yoki niqob qatlami sifatida xizmat qiladi.
- diffuziya pechlari: Silikonga nisbatan aniq aralashmalarni (masalan, Boron, fosforli) yuqori haroratga aylanishi uchun yuqori haroratda, gretsiyadan yuqori haroratga ega.
- yuqori - harorat texnologik uskunalari: masalan, ennearing pechlari, lpcvd (past bosimli bug 'quyish shoxobchasi) pechlar va boshqalar.
2 1000 darajadan yuqori haroratda kvarts naychasini kiritishdan oldin toza havo yoki gazni tekshirish kerak.
3
- Kristal nuqsonlarining oldini oling: har qanday mikrometr yoki subometr mikrometrli ifloslantiruvchi vositalari, mikrometrli ifloslantiruvchi vositalar, grammatik kristalli nuklrish markazlariga olib kelishi mumkin.
- Yonuvchan oksidlanish jarayonlari, oksidlanish jarayoni uchun oksid ichidagi mayda zarrachalar, yalang'ochlangan yoki parametrlar operatsiyalarini amalga oshirishga olib keladi.
- Boshqaruv bir xilligi: diffuziyadagi jarayonlar, ifloslanishlarning bir xil tarqalishiga to'sqinlik qilishi va chipning elektr parametrlariga ta'sir qiladi.
II. Nega "yuqori {{{{{- Harorat" va "Ultra {{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{{}}} yuqori samaradorlik" Ushbu bosqichda filtrlar juda muhimmi?
1. Horijiy - Haroratga chidamliligini (odatda 3 {{- 500 {- 500 darajasi yoki yuqori):
{- Jarayon talablari: yarimo'tkazgichlar oksidlanish va diffuziya jarayonlari odatda 900 darajadan 1200 darajagacha. Takliflar reaktsiya naychasiga kirishdan oldin, gazlamalar oldindan qizdirilgan, shuning uchun filtrlar old tomoni yuqori haroratga bardosh berishi kerak
- Moddiylik barqarorlik: maxsus -} Haroratli filtr qog'oz, zanglamaydigan po'latdan yasalgan filt va yuqori {{}}}
2. Ultra - yuqori filtratsiya samaradorligi (odatda H14 yoki U15 va undan yuqori):
- aniqligi aniqligi: Yarimo'tkazgichlararo sanoat nano - shkala pog'onali tuzilmalariga zarar etkazishi mumkin bo'lgan zarralar bilan shug'ullanadi. Odatda zarrachalar 0,1 mmm dan katta yoki unga katta yoki unga teng yoki teng bo'lgan zarrachalar uchun yuqori darajaga ko'tarilishi kerak. H14 darajasi (0,3 mmm zarralar uchun 99,395% dan katta yoki teng) - bu U15 dan yuqori bo'lgan va undan katta yoki undan katta yoki undan katta yoki undan katta yoki undan katta yoki undan katta yoki undan katta yoki undan katta yoki undan katta yoki boshqa yuqori darajadagi {- - {- - {- yuqori darajadagi sinf filtrlaridan foydalanishi mumkin.
- Mini erli dizaynning afzalliklari: Metall ionni bo'shatish huquqi yo'q: metall ionining ajralib chiqqan filtrlarda metall ionining chiqarilishi xavfidan qochadi. Natriy (NA), kaliy (X), temir (Fe) va boshqa metall ionlari yarim qurilmaning og'ir ishlash samaradorligini keltirib chiqaradigan "bitta qotil" dir.
- Kompalapli kompakt Tuzatuv: Uskunaning cheklangan makonida gaz liniyalariga o'rnatishni osonlashtiradi.
- Chang changni ushlab turish quvvati: uzun - astenting uzluksiz ishlab chiqarish sharoitlari.
III. Muayyan texnik talablar va sanoat xususiyatlari
1. An'anaviy tozalik standartlaridan tashqari:
Yarimo'tkazgichli Chip ishlab chiqarish 1-sinfda (ISO 3 darajasi) yoki tozalik xonalarida amalga oshiriladi. Biroq, jarayonlar uskunalari, xususan reaktivlar kamerasiga tozalik talablari - bu "toza xonalarda toza xonalar" deb nomlanuvchi atrofdagi muhitdan yuqori. Shuningdek, filtrlarni kimyoviy ta'sir ko'rsatadigan xususiyatlarga ega bo'lishini talab qiladigan havo kemasi molekulyar ifloslantiruvchi vositachilar (AMM) uchun qat'iy talablar mavjud.
2. Yakuniy materiallar tozaligi:
- Filtrning barcha materiallari: Barcha materiallar Ultra - TEMPRANT talablari talablariga javob berishi kerak. Zanglamaydigan po'latdan yasalgan ramka 316-sinfni 316-sinf yoki juda kam metall tanlab eritmaga o'tkazishni yaxshiroq qilish kerak.
- Filtr va yopishtiruvlar: Yuqori - harorati va yuqori {{2} {{2} - - - vakuumli muhitda organik yoki noorganik ifloslantiruvchi moddalarni chiqarishni oldini olish uchun maxsus ishlov berish kerak.
3
{- O'rnatish: Pichoq - dengiz muhrlashini yoki "nol oqish" ni ta'minlash uchun boshqa mutlaqo muhrli usullardan foydalanishi kerak.
-}}}}}}}}}} - Sayt-PAO / Dopni skanerlashning qat'iy sinovi, sinov me'yorlari oddiy tarmoqlarga qaraganda qat'iyan va biron bir kichik oqish punkti ancha qattiqlashib bo'lmaydi.
IV. Ilovaning ahamiyati va ahamiyati haqida qisqacha ma'lumot
1. The Lifeline of Yield: In nanometer-scale chip manufacturing, a single dust particle larger than the circuit feature size can ruin a die (grain), or even an entire wafer (wafer). High-efficiency filters are a prerequisite for ensuring ultra-high yield (>95%).
2. Texnologik tugunlarning asosiy kafolati: Chip jarayonlari 28 sm dan 7 sm gacha, 5NM dan 15NM gacha va yanada rivojlangan tugunlar, nazoratni boshqarishning nazorati talablari eksponentga muvofiqligini nazorat qilish. Yuqori -} Haroratli Ultra - yuqori samarali filtrlar ilg'or jarayonlarga erishish uchun ajralmas texnologiyalardir.
3
4
Xulosa: Yarimo'tkazgichli yuqori - Haroratli oksidlanish va diffuziya pechida yuqori -} Haroratli HEPA filtrlari "filtrlar" ning umumiy roli oshdi; Ular "gazni tozalash komponenti" degan ma'noni anglatadi. Ularning ishlashi integratsiyalashgan zanglovchilarning mikrokroslari mukammal "o'ymakor" va "marvarid" ni aniq "durl" va asosiy sanoat tarkibiy qismlarini kesishning asosiy talablarini aks ettiruvchi "marvarid".
Ushbu versiya grammatik aniqlik va professional ifoda ishonch bilan ko'rib chiqildi.
